2023 年第 4 季度及 2024 年有关 220nm 顶硅 SOI 有源/无源 MPW、200nm 氮化 硅 MPW 流片计划如下图所示;石英及厚硅 SOI 等工艺接纳定制化流片方法,工 艺计划通过技术评审后即可签订相助 。
