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针对硅光技术研发中质料和工艺的多样性,平台开发了基于厚硅 SOI、 石英衬底、SiN 质料的多种工艺�？�,可为客户提供灵活的定制化技术服 务。
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针对硅光技术研发中质料和工艺的多样性,平台开发了基于厚硅
SOI
、 石英衬底、
SiN
质料的多种工艺�？�,可为客户提供灵活的定制化技术服 务。
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