2021-10-15
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中科院微电子所硅光平台已乐成开发了一系列硅光流片工艺�？椤⒈曜脊ひ樟鞒毯蚉DK。其中，标准单位库主要包括矩形波导、脊形波导、MMI、Y-分支、光交叉器、AWG、光栅耦合器等无源器件，有源器件实现了40Gbps的锗探测器和调制器，如图1和表1所示。自2017年5月宣布以来，该平台已完成多批次MPW和客户定制流片效劳，器件性能抵达国际代工平台水平，获得了业内人士的一致认可。
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